现在电路尺寸不断地缩小,亚微米技术的应用已是司空见惯。器件的尺寸缩小了,集成程度大幅度提高,一块芯片上可以制造数以百万只的晶体管。但是它们承受静电放电的能力也大大地下降。静电放电会使氧化物受到破坏而造成短路,降低成品率。
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