有了适合设备和人员的电离设备和传统接地工具,制造商还必需仔细考虑在洁净室内使用的材料和它们与ESD的关系。
材料上出现静电荷是由于材料滑动、摩擦或者把材料分开的结果,这是产生静电电压的根本原因。塑料、玻璃纤维、橡胶和纺织品都能够吸收这些电荷。一旦在绝缘材料上产生静电荷,电子无法流动或者穿过它绝缘材料本身,那么越来越多的电荷就会积存在所接触的局部区域上。这种在绝缘体上产生的静电荷能够感应邻近的导体,例如,人或者微型电路,然后,一旦导体与人体以完全不同的电压接触,它们会通过电弧或者火花放电。
RMV技术集团公司总裁BobVermillion说:“磁盘驱动器制造商通过**聚合物,想方设法降低出现ESD事件的可能性,这些聚合物可以用静电逸散加热成型的元件或者CNC陶瓷/ICP元件来取代金属载体。这些聚合物通过提供表面电阻、体积电阻或两点电阻的读数来减少快速放电。”
洁净室用户和工艺设备制造商正在试验更多的抗ES材料,以满足客户的需要。像隔离包、箔片和金属这样的导电材料越来越受欢迎,这是因为它们的电阻非常低,一般都不到1×105欧姆/平方厘米(表面电阻率)和1×104欧姆-厘(体积电阻率),而且,电子还可以在表面或者在整个物体内自由移动。当导电材料开始充电,电荷(也就是电子不足或者过多)均匀地分布在材料的整个表面。一旦带电的导体材料与其他导体材料接触,电子就在这两个材料之间自由交换。如果弟二个导体接地,电子就会流向地,而导体上多余的电荷就会变少。导电材料一般整个都布满了碳化微粒或者碳化纤维。
对防静电材料来说,它们和所有材料一样,电荷可能是由摩擦产生的。然而,防静电材料和导电材料一样,允许与大地或者其他导体材料交换电荷。防静电材料交换电荷所需要的时间要大于与体积相当的导体材料。放慢电荷的交换速度是防止ESD破坏的一种方法。与防静电材料交换电荷比与绝缘体交换电荷要快得多,但是比导体慢。
有许多种抗静电或者防静电材料,但是,不是所有的材料都能够在洁净室中使用,以降低ESD风险,这是因为洁净室里可能存在污染问题。举个例子,塑料的表面涂有季铵盐、变性聚酰胺或者辛酸盐,从而具有非长久性ESD属性,这种方法不能在洁净室中使用。适合洁净室使用的ESD控制材料必须经过针对微粒产生、排气作用和化学残渣的实验,所有在洁净室中使用的材料都需要做这些实验。